Microscope électronique à balayage JEOL – IT800SHL

Présentation générale :

Le MEB à effet de champ IT800SHL permet d’associer la résolution sub-nanométrique en imagerie et les capacités d’analyses nanométriques.

Il s’articule autour d’une innovation majeur sur l’optique de sa colonne « émetteur In Lens et couplage ACL (Angle control Lens) » site de courant de faisceau. Cette optique permet d’avoir un fort courant avec une petite taille de sonde permettant de garantir une résolution à distance analytique de 2nm avec 10nA de courant.

Le concept de la lentille objectif  à champ non débordant évite de plonger l’échantillon dans le champ magnétique pénalisant  le travail sur un échantillon magnétique ou en EBSD. Il permet d’observer  des échantillons magnétiques  en ultra haute résolution jusqu’à 2 mm de distance de travail.

Le système d’accélération-décélération dans la lentille objectif réduit les aberrations de lentilles à basse tension et améliore la résolution.

La lentille objectif couvre une gamme de grandissement sans changement de mode de x10 jusqu’à 2000000 (format polaroïd).

Deux modes d’observation sont possibles, en Haut Vide et en Vide Contrôlé (10Pa à 300Pa).

Le MEB comporte un ensemble de détecteurs d’électrons secondaires et d’électrons rétrodiffusés dans la chambre et dans la colonne permettant un fonctionnement dans les deux modes.

Equipements complémentaires :

• Détecteur d’électrons rétrodiffusés rétractable (capable de différencier 0.1Z atomique).
• EDS Oxford : détecteur SSD Ultim Max 100mm².
• EBSD Oxford : HKL Advanced symmetry ; capteur CMOS ; précision angulaire meilleure que 0.05°.
• Platine de cryo transfert Quorum PP3010T.

Caractéristiques techniques :

• Source à émission de champ assistée thermiquement de type « in-lens » SCHOTTKY (Brevet JEOL).
• Résolutions : avec décélération, 0.5 nm à 30kV, 0.7nm à 1kV ; sans décélération, 5nm à 30kV, 1,2nm à 1kV ; Low Vacuum à 50Pa, 1.2nm à 30kV, 1.5nm à 5kV.
• Courant de sonde continu de 1pA à 500nA (à 30kV).
• Courant maximum de 20nA à 1kV ; 200nA à 15kV et 500nA à 30kV.
• Décélération du faisceau de 100V à
• Sas automatisé et sécurisé (permet l’échange d’échantillon en moins de 2 min).
• Grande chambre (taille d’échantillons jusqu’à 200mm de diamètre et 60mm de haut).

Exemples d’applications :

• Matériaux : Céramiques, composites, métaux, polymères, roches….
• Domaines d’applications : minéralogie, géologie, hydrogéologie, environnement, biologie, exobiologie, biochimie, nanotechnologie,  cosmétique, pharmaceutique, aéronautique,  automobiles….

Nanoparticules d’argent :

Film de polymères :

Minéraux

Carte EBSD de Calcite